X射线光电子能谱仪

仪器型号：AXIS SUPRA

生产厂家：日本岛津-Kratos公司

仪器介绍：X射线光电子能谱仪可以提供有关固体表面和界面的化学信息。可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态。并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。广泛应用于研究聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料。结合其它表征技术，可以对腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆、氧化等过程进行研究。

主要附件：紫外光电子能谱仪UPS、俄歇电子能谱仪AES、离子散射谱ISS、双阳极Al/Mg靶、多模式团簇离子枪、进样分析室冷热台等。

性能指标：空间分辨率：优3μm；能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2），0.68eV/(C 1s)（PET上O-C=O的C 1s）最小分析区域（收谱）<10 μm灵敏度（ag 3d5/2）：大面积11,800kcps (1.3ev )空间分辨率(快速平行成像)：小于3μm空间分辨率(扫描成像)：15μm和27μm。

主要应用:主要用于各种有机和无机固体材料的表面元素和其价态的定性、定量分析，表面元素的化学成像及深度剖析。可用于腐蚀、摩擦、浸润、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面过程的研究。

送样须知：

1.粉末样品最好不低于50mg（多余样品不会被污染，可以回收）；

2.片状样品请标明测试面，常规测试建议样品大小裁至≤5*5mm，如若要进行深度分析需适当增大面积，样品厚度建议不要超过18mm；其他特殊规格大小送样前咨询负责老师进行确认；

3.分析结果中一定会包含全谱扫描；窄谱分析会包含C、O两个元素，供委托人参考（荷电情况及校正）；

4.所有元素分析原则上仅提供原始数据，不提供分峰拟合结果；

5.如果样品有易磁化，易变性（如被氧化，吸附等）等情况应说明清楚；

6.含磁性、放射性样品不能测试。

存放地点：南海海洋资源国家重点实验室118室

联系人：王桂振

联系电话：13700408893

收费标准

	校内	校外	CMA	说明
常规XPS收费	350元/样品	700元/样品	1000元/样品	XPS谱图测试（包括宽扫和窄扫：C1s加上其它4个）每增加窄扫一个元素，校内加收50元，校外加收100元
使用Ar离子轰击清洗样品表面+常规谱图测试	350元*（1+0.8X采集谱图次数）+轰击费用（100元/次）	700元*（1+0.8X采集谱图次数）+轰击费用（200元/次）		每次刻蚀时间为1-3分钟，最多刻蚀两次
使用Ar离子轰击来减薄样品表面+常规谱图测试	350元*（1+0.8X采集谱图次数）+轰击费用（150元/次）	700元*（1+0.8X采集谱图次数）+轰击费用（300元/次）		总减薄厚度不超过40nm，每次的轰击时间不超过5分钟，每个样品最多可以做3次轰击
XPS成像（选区和扫描）	350元/小时	700元/小时
XPS深度剖析测试（Ar离子刻蚀+元素窄扫）	每个样品基本费3000元（3小时），每增加1小时加收900元	每个样品基本费5500元（3小时），每增加1小时加收1500元	每个样品基本费7200元（3小时），每增加1小时，加收2000元	校内：Ta2O5刻蚀速率测定：一次2000元； AFM测量溅射坑深度50元/样品 校外：Ta2O5刻蚀速率测定：一次3200元； AFM测量溅射坑深度200元/样品 CTA测试：Ta2O5刻蚀速率测定：一次2000元； AFM测量溅射坑深度400元/样品
UPS（价带谱或功函数）	400元/样品	800元/样品